PMEMS_Wykl7.pdf

(5170 KB) Pobierz
MIKRO ELEKTRO-MECHANICZNE
SYSTEMY (MEMS’y)
MIKROTECHNOLOGIA
Obróbki strumieniowe
a)
poziom energetyczny
W
E=hc/l
Ar
b)
W
e
-
c)
W
Ar
W
Ar
e
-
Ar
powietrze
fotony
e
-
soczewka
próżnia
Ar
e
-
soczewka
próżnia
m
m
przedmiot
obrabiany
m
m
m
przedmiot
obrabiany
przedmiot
obrabiany
e)
d)
V, p
V, p
dysza
dysza
powietrze
struga
wody
powietrze
struga wody
i ścierniwa
m
m
m
m
m
m
przedmiot
obrabiany
przedmiot
obrabiany
Schematy obróbki strumieniowo – erozyjnej [10]: a) laserowej (LBM),
b) elektronowej (EBM), c) jonowej (JBM), d) strugą wody (WJM),
e) strugą cieczy i ścierniwa (AWJM)
Charakterystyka modeli obróbki strumieniowo – erozyjnej
Metoda obróbki
Obróbka
laserowa (LBM)
Źródło erozji
Charakter
procesu obróbki
Ośrodek
procesu obróbki
strumień
fotonów
(10
3
10
6
W/cm
2
)
strumień
elektronów
(10
3
10
9
W/cm
2
)
strumień
jonów
(100 5000 eV)
wysokociśnienio
wy strumień
wody lub cieczy
i materiału
granulowanego
termiczny
(8.000
12000K)
termiczny
(3000 8000K)
powietrze
Obróbka
elektronowa
(EBM)
Obróbka
jonowa
(JBM)
Obróbka
strumieniem
cieczy
(FJM, WJM).
Obróbka
strumieniem
cieczy i
ścierniwa
lub innego
materiału
granulowanego
(AWJM, ASJM)
próżnia
(10
-7
10
-2
Tr)
chemiczny /
fizyczny
(373 673K)
mechaniczny
(10 700 MPa)
próżnia
(10
-6
10
-1
Tr)
powietrze
Technologie mikrolaserowe
Mówimy o niej, gdy średnica wiązki lasera użytego w procesie obróbki jest
mniejsza niż 1 [mm]
Główne rodzaje stosowanych laserów to:
�½
CO2,
�½
YAG,
�½
Femtolaser
Zgłoś jeśli naruszono regulamin